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DSMC-Neutrals是一款为研究稀薄气体运动而开发的基于 DSMC 方法的CFD软件。是真空技术、薄膜技术、微电子技术领域的专业仿真软件。能广泛应用于再入飞行器,OLED液膜均匀性分析,真空泵优化设计,真空设备流动分析等项目中。

DSMC-Neutrals有两个模块:中性气体模块和表面化学反应模块。该软件主要特点:(1)物理模型包括:弹性碰撞模型、非弹性碰撞模型、基于TCE模型的化学反应模型;(2)表面化学反应模型采用粘附系数模型;(3)求解器并行效率高。



  

Particle-plus是分析稀薄气体里发生的非平衡等离子运动的有效工具。此软件包括等离子模型和中性气体模型,而等离子模块可进行磁场解析,因此还可分析磁控管溅射和由磁场导致的离子光束轨迹变化。并广泛应用于磁控溅射,PVD,等离子CVD,容量耦合等离子体(CCP )、电介质屏障放电(DBD)等。